無油真空泵是一種無需任何油作潤滑就能運轉(zhuǎn)工作的機械真空泵，它具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小巧，易于安裝，移動方便，操作容易、維護方便、不會污染環(huán)境，產(chǎn)品耐用性好，是抽真空，壓縮，兩用真空泵。是一種應(yīng)用范圍非常廣泛獲得真空的基本設(shè)備。

　　無油真空泵與油泵相比真空度低，抽氣量小，但體積小巧，易于安裝，維護簡單，移動方便，不產(chǎn)生油煙，不污染環(huán)境，尤其在要求較高的實驗室使用較好。

　　因此在選購無油真空泵時要先確定要求工作的真空度，如果需求的真度高，而選的真空泵就要高于需求的真空度，否則達不到抽真空的要求，就會達不到工作要求。其次是無油真空泵抽氣速率，選型時就要稍大于所需求的抽氣速率，這樣就能更好的滿足需要。后看抽取的氣體有無腐蝕性，有腐蝕的氣體會腐蝕泵，必須要用特殊的材質(zhì)才能滿足需求

　　由無油真空泵的定義得知,為滿足杰出的環(huán)境，其抽氣腔是無油的。但機械傳動部分還需油類光滑,例如多級無油真空泵、爪型泵和螺桿型干式泵等。其傳動齒輪的軸承都需求光滑。利用迷宮式密封結(jié)構(gòu),去阻隔泵腔和齒輪箱等部位,比較簡略的方法是在泵腔和需求光滑的部位之間充入枯燥的惰性氣體,或裝置密封圈。

　　必定要有杰出的防返流辦法才行，大部分無油真空泵在低壓下運用，而迷宮式結(jié)構(gòu)能防止光滑油進入泵腔,但有可能使氣體經(jīng)過,由于齒輪箱中的氣體壓力不受約束,假如齒輪箱內(nèi)的氣體壓力大于泵腔內(nèi)的壓力,有壓力梯度存在就會出現(xiàn)齒輪箱內(nèi)油蒸汽向泵腔內(nèi)的擴散。因而對無油真空泵的結(jié)構(gòu)設(shè)計要好好考慮,將齒輪箱中的油池面上,進行減壓預(yù)抽,控制齒輪箱中的氣體壓力,并經(jīng)過唇形密封圈,將油池與泵腔阻隔，防止污染被抽氣體。